Костановский А. В., Жиляков Л. А., Пронкин А. А., Кириллин А. В., Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени

Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Nanosystems, Nanomaterials, Nanotechnologies 2008, т. 6, № 3, сс. 911—917 В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки. Представлены результаты по оптимизации параметров процесса нанесения тонких пленок. Метод рамановской спектроскопии показал, что спектр идентифицирует пленки как АПП. Толщина пленок – 2000 Å, скорость осаждения – 200 Å/мин. Пленки являются оптически прозрачными,…

"Костановский А. В., Жиляков Л. А., Пронкин А. А., Кириллин А. В., Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени"

Бабаев В.Г., Гусева М.Б., Савченко Н.Ф., Хвостов В.В., Управление процессом формирования и структурой тонких пленок. Ионно-стимулированные процессы

Проведены количественные исследования процесса формирования тонких пленок в условиях облучения медленными ионами инертных газов, и установлены закономерности влияния параметров ионного облучения на структуру и рост тонких пленок. Созданы физические основы ионной технологии пленочных материалов с заданной структурой и свой-ствами, безмасочного управления геометрией (рисунком) тонких слоев. Ключевые слова: тонкие пленки, ионное облучение, адсорбция, резонансная перезарядка, точечные дефекты. The quantitative investigations of thin films formation by low energy ion assisted process were carried out. Influence of ion…

"Бабаев В.Г., Гусева М.Б., Савченко Н.Ф., Хвостов В.В., Управление процессом формирования и структурой тонких пленок. Ионно-стимулированные процессы"

Александров А.Ф. Физическая электроника, наноматериалы, нанотехнологии (введение в проблему)

Показано, что логика развития физической электроники как строго детерминированной самостоятельной области физики привела ее к тому, что сегодня называется нанофизикой. Эта наука лежит в основе большого класса современных нанотехнологий, которые позволили синтезировать, изучить и практически использовать современные наноматериалы и наноструктуры в самых различных областях науки и техники: от наноэлектроники до медицины. Ключевые слова: физическая электроника, нанофизика, наноэлектроника,  наноматериал, поверхность, тонкие пленки. The aim of this introduction, preceding series of articles, published in this issue of…

"Александров А.Ф. Физическая электроника, наноматериалы, нанотехнологии (введение в проблему)"