Пронкин А.А. Диссертация и автореферат: Экспериментальное исследование процесса образования тонких пленок аллотропных форм углерода и изучение их свойств, ктн, 2014

Цель работы: Экспериментальное исследование процесса образования тонких пленок аллотропных форм углерода основанное на сочетании метода магнетронного распыления и различных источников радиационного потока (потока фотонов), а также изучение свойств полученных алмазоподобных пленок. В соответствии с целью работы были поставлены следующие научные задачи: 1. Разработка и создание экспериментального комплекса, в котором реализуется метод магнетронного распыления с двумя вариантами источника радиационного потока: нагретая нить и модель абсолютно черного тела (АЧТ). 2. Экспериментальное определение параметров получения тонких пленок аллотропных…

"Пронкин А.А. Диссертация и автореферат: Экспериментальное исследование процесса образования тонких пленок аллотропных форм углерода и изучение их свойств, ктн, 2014"

Разработка научных основ новых методов получения линейной аллотропной модификации углерода карбина из графита в форме микрокристаллов и тонких пленок при…

http://www.rfbr.ru/rffi/ru/project_search/o_306415 Разработка научных основ новых методов получения линейной аллотропной модификации углерода карбина из графита в форме микрокристаллов и тонких пленок при лазерном плавлении, ударно-волновом воздействии и магнетронном распылении в условиях фотоактивации адатомов углерода Номер гранта: 07-08-12170 Область научного знания: фундаментальные основы инженерных наук Тип конкурса: инициативные проекты ориентированных фундаментальных исследований Год выполнения: 2007г. Руководитель: Костановский А.В. Статус заявки: поддержана Аннотация к заявке: 25.5. Проект направлен на разработку фундаментальных основ методов получения карбина в виде микрокристаллов…

"Разработка научных основ новых методов получения линейной аллотропной модификации углерода карбина из графита в форме микрокристаллов и тонких пленок при…"

А.И. Кузьмичёв Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления.

В данной работе изложены основные направления развития и последние достижения в области МРС; для этого были систематизированы сведения, опубликованные в периодических изданиях, трудах международных и региональных конференций и симпозиумов. Рассмотрены физические принципы магнетронного распыления. При описании МРС большое внимание уделено устройствам с объёмным магнитным полем, усиленной ионизацией газовой среды и импульсным системам для нанесения тонких плёнок и покрытий различного назначения. Из-за ограничения объёма и характера представленного материала автор рассматривает данную книгу как введение в физику…

"А.И. Кузьмичёв Магнетронные распылительные системы. Книга 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления."