Новиков Н.Д. Диссертация: Физические основы управляемого ионно-плазменного синтеза функциональных углеродных покрытий, кфмн, 1998
Целью работы является осуществление ионно-плазменного синтеза тонких углеродных пленок с широким спектром свойств на базе импульсного плазменного генератора, разработка технологии
Read more.